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      超精密光學(xué)制造與檢測

      2019-12-23 分享

        建立了超精密光學(xué)制造與檢測平臺,具備加工300mm口徑以內(nèi)各類光學(xué)玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、錐鏡等透鏡和反射鏡能力,擁有支持完整工藝鏈的高端數(shù)控加工設(shè)備。突破了一系列超精密光學(xué)制造和檢測關(guān)鍵技術(shù),平面和球面達到深亞納米精度,非球面達到亞納米精度。 

        基于深亞納米超高精度檢測及制造技術(shù),可實現(xiàn)平面和球面光學(xué)元件:面形精度優(yōu)于0.3nm RMS,表面粗糙度優(yōu)于0.2nm RMS;非球面光學(xué)元件:面形精度優(yōu)于1nm RMS,表面粗糙度優(yōu)于0.3nm RMS。

        

         

           球面透鏡                     非球面透鏡                碳化硅反射鏡                  1等平晶 

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